나노공정 용어 정리

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최초 등록일: 2016.04.11
최종 저작일: 2015.11; 4페이지/ 한컴오피스; 가격 3,000원

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나노공정 과목에서 나오는 용어를 몇가지 정리한 것 입니다. 공부에 도움이 됐으면 합니다.

본문내용

Mean Free Path(평균자유행로)
평균자유행정(平均自由行程)이라고도 한다. 입자가 다른 입자와 충돌하는 순간부터 다음 충돌이 일어날 때까지 움직일 수 있는 거리를 자유행로라 하며, 자유행로를 입자 전체에 대하 여 평균한 것이 평균자유행로이다. 따라서 입자가 평균자유행로만큼 나아가면 평균적으로 1회 충돌한다고 볼 수 있다. 0℃, 1atm에서의 기체분자의 평균자유행로는 약 10-5cm 정도이다. 기체의 점성계수·열 전도율·확산계수(擴散係數) 등을 평균자유행로로 나타낼 수 있다.

LP-CVD(Low Pressure-chemical vapor deposition)
진공간 화학 증기 박막 증착 법.

PE-CVD(Plasma Enhanced-chemical vapor deposition)
반도체 전(前)공정 장비로 웨이퍼 표면에 원료가 되는 가스를 공급한 뒤 열과 플라스마를 이용해 화학적 반응을 일으켜 산화막과 금속막 등을 증착시키는 장비.

참고 자료

나노공정 수업, 네이버 검색, 구글 검색

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