태양전지용 실리콘 기판의 절삭손상 식각 조건에 의한 곡강도 변화
* 본 문서는 배포용으로 복사 및 편집이 불가합니다.
서지정보
ㆍ발행기관 : 한국재료학회
ㆍ수록지정보 : 한국재료학회지 / 20권 / 11호
ㆍ저자명 : 강병준, 박성은, 이승훈, 김현호, 신봉걸, 권순우, 변재원, 윤세왕, 김동환
ㆍ저자명 : 강병준, 박성은, 이승훈, 김현호, 신봉걸, 권순우, 변재원, 윤세왕, 김동환
영어 초록
We have studied methods to save Si source during the fabrication process of crystalline Si solar cells. One way is to use a thin silicon wafer substrate. As the thickness of the wafers is reduced, mechanical fractures of the substrate increase with the mechanical handling of the thin wafers. It is expected that the mechanical fractures lead to a dropping of yield in the solar cell process. In this study, the mechanical properties of 220-micrometer-solar grade Cz p-type monocrystalline Si wafers were investigated by varying saw-damage etching conditions in order to improve the flexural strength of ultra-thin monocrystalline Si solar cells. Potassium hydroxide (KOH) solution and tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) solution were used as etching solutions. Etching processes were operated with a varying of the ratio of KOH and TMAH solutions in different temperature conditions. After saw-damage etching, wafers were cleaned with a modified RCA cleaning method for ten minutes. Each sample was divided into 42 pieces using an automatic dicing saw machine. The surface morphologies were investigated by scanning electron microscopy and 3D optical microscopy. The thickness distribution was measured by micrometer. The strength distribution was measured with a 4-point-bending tester. As a result, TMAH solution at 90˚C showed the best performance for flexural strength.참고 자료
없음"한국재료학회지"의 다른 논문
산화아연-단일벽탄소나노튜브복합체의 일산화질소 감지 특성5페이지
PAD법으로 제작된 산화코발트-산화주석 복합체의 가스 감응 특성6페이지
RF 마그네트론 코스퍼터링을 이용한 Si3N4 매트릭스 내부의 실리콘 양자점 제조연구5페이지
SiOC(-H) 박막 제조용 Methyltriphenylsilane 전구체 합성 및 특성분석6페이지
리튬 이차 전지를 위한 다공성 니켈-주석 나노 수지상 전극8페이지
마그네트론 코스퍼터링법으로 형성한 SiO2/Si 양자점 초격자 구조의 특성6페이지
수소주입에 따른 590 MPa급 DP강 표면층의 미소경도와 조직특성5페이지
Na2Ti6O13를 도핑한 0.94BaTiO3-0.06(Bi0.5Na0.5)TiO3 세라믹스의 미세..6페이지
지르코니아 광페룰 사출성형용 WC 코아 핀의 Diamond Like Carbon 코팅5페이지
Spark Plasma Sintering and Ultra-Precision Machining Ch..11페이지