반사방지 특성을 통일시킨 실리콘 질화막 간의 패시베이션 특성 비교
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서지정보
ㆍ발행기관 : 한국재료학회
ㆍ수록지정보 : 한국재료학회지 / 26권 / 1호
ㆍ저자명 : 김재은, 이경동, 강윤묵, 이해석, 김동환
ㆍ저자명 : 김재은, 이경동, 강윤묵, 이해석, 김동환
목차
1. 서 론2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결 론
Acknowledgements
References