부산대학교 졸업 논문 (Flexible Display용 PI기판 위 ITO 증착 시 Stage Temperature에 따른 특성 변화 연구)

소개글

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목차

1. INTRODUCTION
2. EXPERIMENTAL DETAILS
3. RESULTS AND DISCUSSION
4. CONCLUSION
5. References

본문내용

최근 폴더블 스마트폰, 롤러블 TV 등의 전자 제품이 등장하면서 flexible display에 대한 많은 연구가 이루어지고 있다. 특히, ITO는 디스플레이 산업에서 많이 사용되고 있는 투명 전극 물질이다. ITO는 In2O3에 주석(Sn, Tin)을 산화물 형태인 SnO2의 형태로 첨가했다. Sn의 첨가로 인해 In자리에 치환형 고형체로 작용하여 생겨나는 과잉전자와 산소의 비화학양론적 구성비로 낮은 비저항값과 높은 전기전도도를 가진다.[1] ITO 박막은 가시광 영역 내에서 높은 광투과도를 가지고 있으며, 가시광선 중 청색 파장의 박막 내 흡수율이 다른 전도성 박막보다 낮아 색의 구현 범위가 넓고, 주변 환경에 대한 안정성도 뛰어나다.
현재 사용되는 디스플레이의 기판은 glass로 유연성을 지니고 있지 않아, 이에 대체 기판으로서 PI가 주목받고 있다. PI는 다른 polymer와 비교하여, 높은 내열성 내화학성을 가지고 있어 치수안정성이 좋다. 이에 ITO(indium tin oxide)를 증착할 때 발생하는 높은 온도를 견딜 수 있다.

참고 자료

허진우 외 3명, “플렉시블 디스플레이용 투명전극” 고려대학교 전자전기공학과 석사 논문, 2008.
김선태, “PET 기판 위에 성장된 ITO 박막의 증착조건에 따른 특성 연구” 부산대학교 석사 논문, 2015.
최형진, 윤순길, “유연성 기판 위에 증착된 ITO 박막의 공정 온도에 따른 전기적·광학적 특성 평가”, 충남대학교 재료공학과 석사 논문, 2013.
최진식, “무색 투명 폴리이미드 유연기판의 ITO 박막특성 및 OLED 소자 제조” 경북대학교 고분자공학과 석사 논문, 2007
김시민, 박수영, “Studay on the Improvement of Light Transmittance of Polymer Film” Polymer(Korea), Vol. 36, No. 5, pp. 662-667 (2012)