[mems] MEMS에 대해서

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Micro Electro Mechanical Systems의 줄임말로 반도체 칩에 내장된 센서, 밸브, 기어, 반사경, 그리고 구동기 등과 같은 아주 작은 기계장치와 컴퓨터를 결합하는 기술로서, 반도체 공정,특히 집적회로 기술을 응용한 마이크로머시닝 기술을 이용하여 ㎛ 단위의 초소형 센서나 액추에이터 및 전기 기계적 구조물을 제작 실험하는 분야이다. 마이크로머시닝 기술에 의하여 제작된 미세 기계는 ㎜ 이하의 크기 및 ㎛ 이하의 정밀도를 구현할 수 있다. 1970년대에는 반도체 제작 기술 및 주변회로를 내장한 집적화 된 센서를 개발하기 시작하여, 1980년대 초반에는 스프링, 캔틸레버 등의 미세 기계 요소 등을 제작하였다. 1980년대 후반에는 마이크로 집게, 모터, 기어 등의 기판에서 분리된 미세구조물을 제작하였으며, 1990년대에 이르러서는 센서,논리회로 및 액추에이터가 집적화된 형태로 발전되고 있다. 마이크로머시닝 기술의 장점은 초정밀 미세 가공을 통하여 소형화, 고성능 화, 다기능화, 집적화가 가능하며 안전성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다는 것 이다. 아울러, 일체화된 집적 시스템의 구현 가능으로 조립 필요성이 감소되 며, 일괄공정으로 제작되므로 값싸게 양산할 수 있다. 현재 연구중인 응용 분 야로는 자기 헤드, 프린터 헤드 등의 정보화 기기 분야

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