각종 분석기기의 원리 및 사용목적

소개글

각종 분석기기의 원리 및 사용목적에 대한 내용입니다.

목차

XRD의 원리
XPS의 원리
AES의 원리
TGA의 원리
XRD
XPS
　TGA

본문내용

XRD의 원리 : X-ray diffraction은 1912년에 결정에 의해서 X-ray가 회절 한다는 현상이 발견됨으로써 X-ray의 파동성이 증명되고 물질의 미세구조를 조사하는 새 방법이 제안됨에 따라 XRD가 개발되었다. X-ray는 전기적으로 하전된 particle이 충분한 운동에너지를 가진 상태에서 급속히 감속될 때 발생하는데, 두 금속 전극사이에 수만 volt의 높은 전압을 걸어주면 양극은 전자를 급히 끌어당기게 되므로 전자는 매우 빠른 속도로 target과 충돌하게 되고 그 충돌 시 X-ray는 발생하여 모든 방향으로 방출 된다. Target과 충돌하는 전자의 대부분의 운동에너지는 열로 방출되고 1% 이하만이 X-ray로 된다. Target에서 나오는 X-ray는 여러 가지 다른 파장을 가진 선들의 복합체이며 파장에 따른 intensity와 X-ray tube voltage에 따라 변화한다.
분석에 이용하는 X-ray는 Characteristic spectrum으로 X-ray tube의 전압이 target 금속의 특성치인 어떤 임계값 이상이 되면 발생하는 X-ray를 사용한다.

결정에 의한 회절이 일어나기 위해서는 많은 수의 산란된 광선들이 서로 상호 보강되어야 한다. 즉, 원자들은 X-ray를 모든 방향으로 산란 시키지만 산란됨 beam중 어떤 것들은 완전한 in phase관계를 이루어서 서로 보강함으로써 diffracted beam을 형성한다. 시편의 표면에 입사된 X-ray가 위에서 말한 것과 같은 조건에서 diffracted되어 XRD의 검출기에 검출이 된다. 그에 따라서 Bragg`s law를 통한 분석이 이루어지고, Diffraction이 일어난 면을 확인 하거나 시료 표면 부분의 defect등을 확인할 수 있다. 그에 따라서 미지의 시료라도 diffracted beam의 peak를 확인 함 으로써 어떠한 시료인지 파악을 할 수도 있다.

참고 자료

없음