크라이오 펌프(cryo pump)

*두*

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최초 등록일: 2009.04.12
최종 저작일: 2008.11; 12페이지/ MS 파워포인트; 가격 1,000원

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크라이오 펌프에 대한설명입니다 CTI사 링크로 슬라이드 가능

본문내용

크라이오 펌프란?
cryogenic pump의 줄인 말.
용기내에 극저온 면을 설치하여 기체분자를
응축 또는 흡착 (포획)시키는 배기 Pump이다.
크라이오 펌프 장.단점
장점
①오일 프리
②기계작동 역류현상
③운전경비 저렴
④배기 속도가 큼
⑤소형 경량
단점
①매우 많은 작업은 힘들다
②피스톤 약간의 진동이
③긴 대기시간
2.크라이오 펌프의 원리
용기내부 냉각
정지상태에 압력 0
냉각된 분자들을 흡착
(냉장고의 냉동실과 흡사)
2-1기체분자 운동론
2.크라이오 펌프의 원리
냉동기는 2단으로 되어 1단은 65~80K로 냉각
2단은 냉동능력이 큰 10K~14K로 냉각
3. 크라이오 펌프의 구조
CTI-사 Cryo Pump
냉각방법
고압(22bar)으로 압축된 헬륨 가스 유입
실린더 사이로 유입되면서 헬륨의 압력이 10bar로 떨어
헬륨 가스는 팽창 10bar까지 압력이 떨어지면 액체가 기체가 되면서 열을 흡수하게 됨 .
압축기로 헬륨을 고압(22bar)으로 압축

참고 자료

http://www.happynzine.com/pvdworld/vacuum/cti1.swf
http://www.helixtechnology.com/flash/cti.html
진공기술 -황 학인 세화출판
진공실무- 주장헌 에드텍

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