[광학] 진공증착

목차

실험목적
실험이론
증착코팅의 기원
진공 증착
박막의 종류
증착의 이유?
진공
1.진공의 필요성
2. Vacuum science and Technology
진공 펌프
1)피스톤 회전 펌프(Rotary Piston Mechanical Pump)
2)오일 확산 펌프
진공도 측정
1) 가이슬러관
2) 열음극 전리 진공계
3)Ionization 게이지
증발원
증착물질
증발방법
두께 측정
-광학적 두께 측정 방법
기판의 세척
진공조 내의 오염과 청소
실험방법
·1주차 (단층 무반사박막)
·2주차 (다층 고반사 박막계)

본문내용

실험목적
진공증착의 원리를 알아보고 프로그램을 이용하여 박막을 설계를 한 후 실재로 무반사 박막계를 제작. 측정하여 프로그래밍한 값과 비교 분석하여 본다.
실험이론
증착코팅의 기원
증착 거울 코팅은 Pole과 Pringshen에 의해 1912년에 시도하였다. 그러나 더욱 효과적인 진공펌프, 그리고 증착원을 위한 성분에 열을 가하는 텅스텐이 개발되었을 때인 1930년대까지 고밀도 증착기술은 거울 코팅을 만들어 내기 위한 실제적인 방법이었다. 금속 필름을 반사하는 고밀도의 증착을 위한 만족적 기술의 진전을 향한 중요한 공헌은 Ritschl, Strong, Cartwright, William 그리고 Auwaeter에 의해 1930-1937년 사이에 있었다. 이 기간의 가장 중요한 진전은 순수하게 증착된 알루미늄 필름을 만들어 낸 실제적 방법인 Strong의 발견이었다. 그리고 그것은 요사이 전면 거울 코팅을 위해 가장 광범위하게 사용된다. 거울의 유용함을 크게 증가시켰던 그런 더욱 최근의 진보는 거울 코팅, 선택적 반사 필터 거울 그리고 진공 자외선에서 크게 증가된 반사율의 반사 코팅의 발견의 반사율 증가면 필름, 그릭 보호층 개발이었다.
진공 증착
진공 증착이란 진공 중에서 금속이나 화합물을 증발시켜, 증발원과 마주 보고 있는 기판의 표면에 박막을 만드는 것을 말한다.

참고 자료

없음