Electron Microscopy

소개글

고분자 특성실험이라는 과목을 들으면 작성했던 보고서 입니다.

목차

1. 실험일자 :
2. 실험제목 :
3. 실험목적 :
4. 실험원리
5. 참고문헌

본문내용

▨ Scanning Electron Microscopy

전자총으로 전자beam을 쏘아 충돌하면서 생성되는 2차 전자, 후방 산란 전자, 오우제이(Auger)전자, 특성X선 등의 다양한 형태의 신호 중 2차 전자나 후방 산란 전자의 신호를 이용하여 시료 표면의 입체적 상을 얻는다.
파괴 단면의 상 관찰 결정립 크기 및 분포도 측정/ 적층 단면/ 미소 부위의 정성,정량 화학분석/ 표면 morphology 관찰 및 성분 분포 조사 / EDS(Energy Dispersive Spectrometer) 및 WDS(Wave length Dispersive Spectrometer)을 통하여 특성 X선을 이용하여 수μm크기의 국부영역에까지 시료의 성분에 관한 정성 및 정량적인 정보를 얻을 수 있다.
- Auger Electron Spectroscopy 분석 : 전자빔이 시료에 충돌하면서 생성되는 오우 제이 분자를 분석하여 재료의 표면 조성, 입계 및 계면의 상대적인 조성분석 및 기타표면에 존재하는 모든 원소(H, He제외)를 알 수 있다.
- X-선 회절 분석 : 결정 및 비결정의 결정구조와 결정상태, 즉 원자의 배열과 관계가 있는 정보를 알아내는데 가장 흔히 사용되는 방법이다. X-선 회절패턴은 시료의 결정 상태에 따라 많은 영향을 받으므로 정확한 격자상수 측정 및 정성, 정량분석 외에도 결정의 배향성, 미소 결정의 크기, 결정화도, 결정의 내부변형 등의 측정에도 이용된다.

전자현미경은 거의 빛의 속도로 이동하는 전자의 파동성을 이용한 전자가속기로서 전자빔을 전자기렌즈를 이용하여 촛점을 형성한다. 가속전압은 대개 60-100 keV이고 illumination source로서는 텅스텐으로 만든 filament를 사용하는데, 이를 전자총 (electron gun)이라고 부른다. 전자총에 고전압이 걸리면 filament가 2700 K 까지 온도가 올라가서 filament의 끝부분에서 열전자(thermal electron)를 방출하게 된다. 이 방출된 열전자 혹은 전계전자(Field-emitted electron)들은 집광렌즈(condenser lens)에 의해서 모아지고 대물

참고 자료

http://super.gsnu.ac.kr/lecture/microscopy/semoptic.html
http://blog.naver.com/herokim99?Redirect=Log&logNo=20024084421
http://blog.naver.com/lbd007?Redirect=Log&logNo=140015759926
http://spintronics.inha.ac.kr/lecturenote/surface022/SEM.ppt#269,9,슬라이드 9
http://blog.empas.com/cunsooreh/18546693
2006년도 기기분석 강의록