LCD제조공정과정

소개글

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목차

LC(Liquid Cristal)의 개념
TFT-LCD 동작원리
TFT-LCD 구조
TFT-LCD 제조공정
TFT-LCD 응용분야
참 고 문 헌

본문내용

특성
광학적 이방성을 가지면서
전압이 가해지면 액정의 분
자배열이 바뀌는 특성
이러한 액정의 성질을 이용해 도형, 문자, 그림 등을 표시하는 장치를 LCD 라 한다
TFT-LCD 동작원리
OFF
: 빛은 90도 틀어진 액정분자의 배열을 따라가므로 90도 틀어진 아래 편광판을 그대로 통과한다.
ON
: GLASS 기판 사이에 전극을 가해 액정분자를 일으켜 세우면 빛은 액정분자를 따라가지 못하고 90도 틀어진 아랫 편광판에서 다시 한번 편광되어 빛이 차단
OFF
ON
TFT-LCD 구조
* BLU(Back Light Unit) : TFT-LCD는 자체발광이 아니므로 BLU을 통해 빛을
조절
* TFT (Thin Film Trangistor) : 기본적인 전극 형성
* CF(Color Filter) : BLU는 백색광, 따라서 색을 표현하기 위해 필수
* 편광판 : 빛이 한쪽으로만 편광 되도록 하는 기능
TFT LCD 제조공정
TFT 제조공정
Color Filter 제조공정
Cell 제조 공정
Module 제조 공정
TFT 제조공정
* 다음 단계로 넘어 갈때 마다 1회 이상의 패턴형성공정이 반복
TFT공정
가장 기본이 되면서도 핵심적인 공정으로 각 셀의 전극을 형성하는 공정
1. 게이트 전극 생성
2. 절연막 및 반도체 막 생성
3. 데이터 전극 생성
4. 보호막 생성
5. 화소전극 생성
각 단위공정 과정의 패턴형성 개략도
TFT공정
과정
1.박막증착
: 글라스 기판 위에 금속, 반도체 및
절연막을 얇게 도포하는 공정.
금속 Sputtering 방식
반도체/절연막 PECVD 방식
2.세정
: 초기 투입이나 공정 중에 기판
이나 표면의 오염, 먼지를 제거
해 불량이 발생하지 않도록 하고,
다음단계에서 증착될 박막의 접
착력 강화를 위함.
TFT공정
3. PR(Photo Resister) 도포 및
노광
: 민감하게 반응하는 감광물질로 된 막을 도포하고 원하
는 마스크 패턴을 덮어서 자외선을 쪼이는 과정.
4. 현상
: 자외선에 노출된 부분과 노출되지 않은 부분을 필요에 따라 제거하는 공정.
TFT공정
5. 식각
: PR에 의해 가려진 부분을 제외한 증착막을 제거
6. PR 박리
: 남은 PR을 용제를 이용해 제거하는 공정 이러한 단계를 거치고 나면 초기에 마스크로 설계된 부분에만 증착막이 형성됨.
7. 검사
: 패턴의 이상유무를 확인.
TFT공정
r) 공정
컬러자료를 포함할 수 있는 컬러 화소를 배열한 기판을 제조하는 과정.
컬러필터 단위 증착/패턴 공정 상세도
CF 공정
CELL 제조공정

참고 자료

본문내 기재