ITO Glass

소개글

고온재료에서 ITO Glass 즉 인듐주석산화물을 이용한 투명전극에 관한 레포트입니다.

목차

1. 투명전극의 개요
2. ITO(Indium tin oxide)
3. ITO 박막 제조
4. 투명전극의 응용분야

본문내용

1. 투명전극의 개요

투명전극이란 투명전도막의 우리말로, 가시광선 영역의 빛을 투과시켜 사람의 눈에 투명하게 보이는 동시에 전기전도도가 좋은 물리적 특성을 나타내는 재료를 일컬으며, 일반적으로 이러한 특성을 보이는 재료가 oxide semiconductor 물질이기 때문에 oxide가 붙는다. 보통은 줄여서 TCO(Transparent Conductive Oxide)라고 한다.
얇고 편평한 디스플레이인 LCD와 PDP 등에서 주로 사용되는데 이는 매트릭스 방식으로 구동된다. 기본적으로 다수의 가로 전극과 다수의 세로 전극을 모기장처럼 배치하고 가로 몇 번째 세로 몇 번째 전극에 신호를 주어 그 위치의 셀이 발광하도록 하는 원리인데, 이 전극들이 불토명하면 전극 사이에서 발생하는 빛이 전극에 가려서 외부에서 잘 안보이게 되기 때문에 전극이 필요한 것이다.
지금까지 개발된 재료 중에는 ITO가 가장 투명하면서 전기도 잘 통하고 생산성도 좋기 때문에 이것을 투명전극의 재료로 사용한다.
투명전극은 비저항이 1×Ω/cm이하, 면저항이 Ω/sq이하로 전기전도성이 우수하고380에서 780nm의 가시광선영역에서의 투과율이 80%이상이라는 두 가지 성질을 만족시키는 박막이다.

2. ITO(Indium tin oxide)

ITO란 인듐 주석 산화물(Indium tin oxide)의 약자로 산화 인듐 (In₂O₃)과 산화 주석 (SnO₂)이 섞여져 있으며, 일반적으로 90% In₂O₃, 10% SnO₂

참고 자료

www.wikipedia.org/chem.ebn.co.kr/www.samsungscp.co.kr
책 “유기EL”/키도 준지 저, 정호균, 김광남 공역/P.83-86
논문 “마그네트론 스퍼터링에 의한 ITO 코팅 조건 도출과 상온 증착”/ 정재인, 양지훈