Energy Dispersive X-ray Spectrometer

소개글

eds 원리 및 사용방법

목차

X-선원 (시편과 전자의 상호반응)
가속전압의 영향
원자번호의 영향
Tilting Angle의 영향
EDS (Energy Dispersive Spectrometer)
EDS 기본 작동 원리
EDS X-선 검출기의 구성
Detector System
Si(Li) X-선 검출기의 구조
EDS 의 X-선 검출원리
EDS 검출기의 변수
EDS 피크의 에너지 분해능
Low-Energy Tails
Si X-선 이탈 피크 (Escape Peak)
EDS 작업 조건
피크 중첩
EDS 정성분석

본문내용

 탄성산란단면은 에너지의 제곱에 반비례 (Q  1/E2):
빔 에너지   전자궤적은 보다 직선적  침투깊이 
 에너지 손실율은 에너지에 반비례 (dE /ds  1/E):
빔 에너지   큰 에너지로 침투  에너지 손실율   침투깊이 
 반응부피의 모양 변화   폭과 깊이의 비율이 비슷함
탄성산란 단면은 원자번호의 제곱에 비례 (Q  E2):
원자번호   탄성산란의 기회   단위거리 당 산란 및 평균 산란각도 
 빔 전자의 침투깊이 

참고 자료

없음