반도체 공정

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반도체들의 제작공정

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본문내용

Semiconductor 는 여러가지 공정을 통해서 만들어 진다.
먼저 가장 Base 가 되는 Wafer 를 만들려면 모래를 가공해
고순도 Silicon을 만든다. 특히 Quartz 인 Silicon
Dioxide(SiO2) 에서 고순도의 Silicon을 추출 할 수 있다.
이렇게 추출한 Silicon 을 정제를 통해 Electronic Grade
Silicon 라 불리는 Silicon 으로 만든다. Electronic
Grade Silicon 의 경우 10억 개의 원자당 1개 비율로 불순
물이 섞여 있는 상태를 말하는 것으로 매우 고순도 상태 이다.
이 고순도 상태의 Mono-Crystal Silicon 을
Czochralski method 를 통하면 Wafer 로 사용하기 적
절한 상태의 Mono-Crystal Silicon Ingot 를 만들 수
있다. 이 Ingot 의 경우 일반적으로

참고 자료

Ben G. Streetman, Pearson Prentice Hall, 2006, Solid State Electronic Device
Intel Corporation, From Sand to Silicon “Making of a chip”Illustrations