건식식각

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소개글

건식식각에 대한 소개와 특히 ICP, RIE 에 대해 소개

본문내용

개요

습식에칭(review)
건식에칭
ICP- RIE 란?
ICP 원리
RIE 란?
시스템 구성
이방성 식각
ICP- RIE 의 식각 메커니즘

Wet etching?
액상의 식각 용액(보통 HF solution)에 웨이퍼를
넣어, 화학적 반응에 의해 표면을 식각해 내는 방법.

단점: 미세 가공이 어려움
식각의 불균일성
감광막의 lift-off
under cut 등등

참고 자료

없음

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