PVD 증착

*경*

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최초 등록일: 2010.07.29
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P V D 증 착

본문내용

Evaporation이란..

열이나 물리적 힘을 가해서 액체 또는 고체로부터
나온 증기를 기판에 증착 시키는 과정
증기를 발생 시키는 열의 생성 수단에 의해 분류
열 증발 증착법 Thermal Evaporation
전자빔 증발 증착법 Electron-Beam Evaporation

Thermal Evaporation
진공 중에서 박막 물질을 가열하여 증발시켜 그 증기를 기판 위에 성장

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없음

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