SEM에 관한 예비/결과보고서

소개글

SEM에 관한 예비/결과보고서

목차

▷ 전자각과의 반응
1. 주사전자현미경의 원리
▷ 시료제작법
1. 일반시료 제작법
2. 코팅의 목적과 방법
3. 비생물 시료 제작법
4. 생물 식물시료의 제작법

2. 투과전자현미경의 원리
▷ TEM의 시편

3. 실험결과
▷ SEM관찰 image

본문내용

▷ 전자각과의 반응
가속전자가 질량이 동일한 원자의 내부전자각(결합에너지 큼)과 충돌하면, 많은 양의 에너지를 잃으면서 비탄성 산란을 하게 된다. 이런 충돌로 내부 전자각의 전자가 방출되면, 원자가 이온화되는데, 1차 전차가 잃은 만큼의 에너지는 원소의 임계이온화 에너지와 동일하다. 이온화된 원자는 외각전자가 내부 전자각의 빈자리를 채우면서 특성 X-선이나 혹은 Auger 전자를 발생시킨다. 특성 X-선과 Auger 전자의 발생은 원자내의 전자각 천이에 해당하므로 시편을 구성하고 있는 원소의 종류와 양에 대한 정보를 간직하고 있다. 이 반응은 10-14 초내에 일어나는데, 서로 경쟁적인 반응으로 특성 X-선은 내부전자각 사이의 전자각 천이에 관계되고 Auger전자는 외각전자의 방출에 관계되어 가벼운 원소일수록 강하게 나타난다. 가속전자가 원자의 최외각 전자와 비탄성 충돌하면 앞의 경우보다 훨씬 작은 양의 에너지 손실이 수반된다. 이때 이탈된 전자가 전도띠(conduction band)와 원자가띠(valence band) 사이에서 재결합되면, 적은 양의 에너지가 전자파로 발생되는데, 적외선에서 자외선 영역의 장파장의 전자파가 된다. 이를 CL(cathodoluminescence)라 하는데, 이 신호를 검출하면, 형광체 등에서 미량의 불순물 분포와 격자결함에 의한 원자결합의 변화 등을 분석할 수 있다. 비탄성 산란후 시편을 빠져나가지 못하는 전자가 회로를 형성하여 접지로 흐르지 못하면, 남은 에너지가 시편에 흡수되어 시편을 가열시키고 화학적으로나 물리적인 변화를 초래한다. 이를 방사선 손상(radiation damage)이라고 말한다.

참고 자료

없음