ellipsometry에 대한 조사 레포트.

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ellipsometry에 대한 조사 레포트.

목차

ellipsometry의 개요
ellipsometry의 특징

본문내용

ellipsometry의 개요

`Ellipsometry`라는 용어는 ‘ellips(타원)’과 ‘metry(측정기술에 해당하는 접미사)’의 합성어인데 이는 특정 편광 상태를 지니고 시편에 입사한 빛이 반사된 후에는 주로 그림 1과 같이 타원편광으로 변하고 그 편광상태의 변화를 분석하여 시편이 지닌 정보를 찾아내는 기술이기 때문에 그런 명칭을 갖게 되었다. [1]

그림 1 비스듬히 시편에 입사한 선형편광은 반사 후 대부분 타원편광으로 변한다.

`Ellipsometry`는 그 측정기술을 일컫고 그 장비를 지칭할 때는 `ellipsometer`라고 부른다. Ellipsometry는 결국 편광을 이용한 광측정기술의 일종이라고 할 수 있다. 대부분 물리, 화학, 재료, 반도체 분야에서 박막 특성연구에 사용되고 있는데 실제로 천체연구를 비롯하여 의학, 생체학 등에도 응용된다. 현재 대부분의 실험실에서는 분광 ellipsometry를 사용하여 정적인 시편의 광학적 성질이나 미세 구조적 성질을 측정하고 있다.

ellipsometry의 특징

광측정 기술로서 편광을 이용하는 기술인 ellipsometry의 독특한 장점들을 나타내면, 우선 첫 번째로 측정환경에 있어서의 융통성을 들 수 있다. 시편이 대기중이 아니라 진공, 플라즈마, 산이나 염기 등의 용액 속에 놓여 있더라도 일단 빛이 투과할 수 있으면 측정이 가능하다. 또한 고온이나 극저온에서의 측정도 가능하다. 두 번째로는 측정방법의 우수성을 들 수 있는데 측정을 위해 시편을 자르거나 시편을 제작한 진공용기(chamber) 등에서 꺼내어야 하는 ex situ 측정도 하지만 시편을 있는 그대로 측정하는 in situ 측정아 가능하다. 또

참고 자료

없음