고진공_및_잔류가스_분압_측정

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물리학 실험 A+ 보고서

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고진공 및 잔류가스 분압 측정
1. 실험목적
초고진공(torr)를 얻는 실험을 해보고, 그 과정에서 잔류가스의 분압 변화를 질량분석기로 관찰한다. 그리고 Leak test를 연습해 본다.
2. 측정
① Mass spectrometer로 고진공 및 잔류 가스의 분압을 측정한다.
② 진공도에 따른 잔류 가스 분포를 관측한다.
3. 실험방법
3.1. 실험장치
UHV chamber(Ultra High Vacuum), Quadrupole mass spectrometer, Turbo molecular pump, Rotary pump
① UHV chamber(Ultra High Vacuum) : 보통 고진공을 만들 때는 Turbomolecular pump가 주로 사용되는데, torr 정도의 초고진공을 만들기에는 비효율적이다.

중략-

.............공기 중에 거의 없는 헬륨 기체를 이용하여 기기의 새는 부분을 찾을 수 있는데, 이를 leak test라 한다. 본 실험에선 챔버 뒤쪽 아래 부분에 헬륨을 주입하였을 때 챔버 내부 헬륨 분압이 아주 커졌는데, 그 부분에 새는 틈새가 있다고 결론지었다.
8. Supplement

참고 자료

[1] 고진공 및 잔류가스 분압측정.hwp
[2] Quadrupole Mass Analyzer:
http://en.wikipedia.org/wiki/Quadrupole_mass_spectrometer
[3] Turbo Pump: http://en.wikipedia.org/wiki/Turbo_pump
[4] Radical: http://100.naver.com/100.nhn?docid=53233
[5] Ion pump: http://100.naver.com/100.nhn?docid=127269