미소질량_및_미소이온전류_측정

소개글

물리학 실험 A+ 보고서

목차

1.실험목적

2.측정

3.실험방법

4.실험원리 및 이론

5.실험결과 및 해석

참고자료

본문내용

미소질량 및 미소이온전류 측정
1. 실험목적
실험을 통해 진공을 얻는 펌핑 기술과 진공 측정, 진공증착에 관해 알 수 있다. 그리고 Rotary pump와 Diffusion 펌프를 이용하여 수분도 없이 진공증착으로 얻어진 박막의 두께를 이용해 미소질량을 측정해본다. 또한 ion gauge를 이용하여 미소이온전류를 측정해본다.
2. 측정
① 수정 진동자(Quartz crystal microbalance)의 진동수변화를 관찰하여 구리 박막의 미소 질량을 측정하고, 박막의 넓이를 계산하여 최종적으로 구리 박막의 두께를 계산한다.
② 비저항이므로, 구리의 저항측정을 통해 두께를 계산하여 ①의 결과와 비교해본다.
③ Ion gauge를 이용하여 미소이온전류를 측정하고, 진공 챔버 내부의 진공도를 측정한다.


중략-

7. 결론
Rotary 펌프와 확산 펌프를 이용하여 고진공을 얻어내고, 열 증착 방식을 이용하여 구리 박막을 slide glass에 증착시켰다. 구리가 증착되기 전후의 수정 진동자 공명 진동수 변화를 통해 구리 박막의 두께를 계산하였고, 그 결과를 구리박막 양단의 저항을 측정하여 계산한 값과 비교하였다. 결과적으로 약 3.75(두께 51nm)의 박막이 증착되었음을 알 수 있었다. 구리박막은 광투과성을 가졌는데, 방향에 아주 민감했다. 이는 구리박막이 균일하게 증착되지 않았단 증거이며, 광투과성을 가지는 부분에서 박막의 두께가 얇음을 유추할 수 있다.

참고 자료

[1] 미소질량 및 미소이온전류 측정.hwp
[2] Quartz vibrator:
www.encyber.com/search_w/ctdetail.php?masterno=97289&contentno=97289Wikipedia
[3] 박막 증착 기술. http://www.threenine.co.kr/rnd/rnd_02_02.htm
[4] Copper: http://en.wikipedia.org/wiki/Copper
[5] Skin effect and skin depth: http://www.rfdh.com/bas_rf/skin.htm
[6] Skin depth calculator: http://www.microwaves101.com/encyclopedia/calsdepth.cfm