[전자재료]Thermal Evaporation법을 이용한 박막의 제조 결과

소개글

Thermal Evaporation법을 이용한 박막의 제조 결과 레포트

목차

1. 실험목적
2. 이론
3. 실험방법
4. 분석
5. 결과 및 토의
6. 결론
7. 참고문헌

본문내용

1. 실험목적
Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕는다

2. 이론
2-1 박막
* 수면의 기름막, 비누방울이 아롱진 막, 금속 표면의 녹, 함석 ·생철의 아연막 ·주석막 등이 이에 속하지만, 이 밖에 여러 가지 금속이나 반도체 또는 절연물 등을 재료로 삼아 금속박막 ·반도체박막 ·절연박막 ·화합물 반도체박막 ·자성박막 ·유전체박막 ·집적회로 ·초전도박막 등이 진공증착법(증기 건조법)을 위시하여 전기 도금법, 기체 또는 액체 속의 산화법, 화합물 열분해법, 전자빔 증착법, 레이저빔 증착법 등에 의해 만들어진다. 물질은 박막상태가 되면 물리적 ·화학적 성질이 크게 변한다.
* 실용적으로는 광학렌즈의 반사방지막이 유명하며, 전자장치의 초소형화 경향에 힘입어, 초소형 박막 전자회로의 제조 및 전자부품의 박막화가 활발히 추진되고 있다. 이러한 박막화는
① 소형 ·경량화한다.
② 얇고 표면적이 크기 때문에 열방산이 좋아져서 큰 전력을 다룰 수 있다.
③ 인덕턴스가 감소하고 고주파 특성이 좋아진다.
④ 얇고 치밀한 보호막으로서 성능이 뛰어나다.
⑤ 자성체 박막은 히스테리시스 반전의 고속화를 가능하게 한다.
⑥ 발광박막같이 고휘도의 것을 만들 수 있다는 등의 이점이 있으며, 재료가 적게 들고 소형의 것을 동시에 대량생산할 수 있다.

참고 자료

① http://www.kosha.net
② 유기발광소자(ITO/Alq3/AI)의 임피던스 특성에 관한 연구(논문),광운대학교
안준호 2005
③ 진공증착법(PVD)을 이용하여 제작한 Europium complex의 유기 전기 발광
소자의 광학적 및 전기적 특성에 관한 연구/ 李明鎬 [저].
서울: 弘益大學校 大學院, 1998.
④ 이온화 분자선 집단체 증착 방법으로 제작된 Alq₃와 TPD박막의 물성연구
/김명진/서울: 延世大 大學院, 1999.08
⑤ http://mulli2.kps.or.kr/~pht/12-6/20030629.pdf (나노분말의 합성현황/배동식)