SOFC button cell 제조 실험 과정. ESD법을 통한 미세구조의 조절

소개글

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목차

1. SOFC button cell 제조 실험 과정

2. ESD법을 통한 미세구조의 조절
▶ 증착 시간(Deposition Time)에 따른 미세구조의 조절
▶ 증착 온도(Deposition Temperature)에 따른 미세구조의 조절
▶ 용액의 물성치(Solution Properties)에 따른 미세구조의 조절
▶ 기판 표면 특성(Surface Characteristics of Substrates)에 따른 미세구조의 조절

본문내용

2. ESD법을 통한 미세구조의 조절

▶ 증착 시간(Deposition Time)에 따른 미세구조의 조절
증착의 경과 시간에 따른 박막의 형상변화는 시간이 경과할수록 조밀한(dense) 박막 구조에서 다공성(porous) 구조의 박막구조로 형상이 변화하며, 이는 기판에 도달하는 액적의 퍼짐률의 차이에 기인하기 때문이다. 다시 말해서, 증착 과정이 어느 정도 진행되면 기판 표면위에 박막층이 형성되며, 보통의 경우 박막층 위에서의 액적의 적심률보다 금속 기판에서의 적심률이 더 크므로 액적은 기판 위에서 훨씬 더 잘 퍼지게 된다. 이로 인해 생성된 박막의 형상도 조밀구조에 가까워진다.

▶ 증착 온도(Deposition Temperature)에 따른 미세구조의 조절
증착의 온도가 높아질수록 박막의 공극률은 증가한다. 다시 말하면, 이는 낮은 기판 온도에서 조밀한(dense) 구조의 박막을 얻을 수 있음을 의미한다.

참고 자료

- 고체산화물 연료전지 발전시스템에 대한 최근 연구 개발 동향, 표성수 외 5명, 한국에너지
- 정전기 분무 증착법에 대한 최근 연구 동향 고찰, 류성욱 외 1명, 한국액체미립화학회지
- SOFC 음극제조를 위한 NiO로 코팅된 YSZ분말의 합성, 임광영 외 5명, 한국세라믹학회지