7세그먼트 LCD셀 제작을 위한 마스크 설계

*성*

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최초 등록일: 2011.05.28
최종 저작일: 2009.09; 22페이지/ MS 파워포인트; 가격 3,000원

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소개글

세븐세그먼트 LCD셀 제작을 위한 마스크 설계 최종 보고서 입니다.

본문내용

☞ 투명한 석영기판 상층에 도포된 크롬 박막을 이용하
여 반도체 집적회로와 LCD 패턴을 실제 크기의 1~5
배로 식각해 놓은 제품을 말한다

설계된 회로 패턴을 E-Beam설비로 유리판 위에 그려 MASK(Retice)를 만든다. Photo Mask라고도 하는데 사진용 원판의 구실을 한다. 현상 공정에서 마스크를 Wafer위에 얹은 다음 강한 자외선을 비추면 유리 위에 그려진 회로가 Wafer에도 똑같이 그려진다. 사진의 현상과 비슷하다.

☞ 설계 데이터에 근거하여 마스크 묘화장치에 의해 마스크의 패턴을 형
성하고 마스크를 원판으로 스페퍼를 이용하여 웨이퍼상에 미세 패턴을
형성

참고 자료

없음

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