전자빔 리소그래피!!

*두*

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최초 등록일: 2011.05.28
최종 저작일: 2011.04; 3페이지/ 한컴오피스; 가격 1,000원

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전자빔리소그래피에 대해서 그림이랑 설명과 뜻과 함께 간단히
레포트 형식으로 준비해보았습니다^^ㅋㅋㅋ

본문내용

전자빔 리소그래피기술(e-beam lithography)

전자빔 리소그래피기술은 전자선 감광제를 도포한 시료 면에 전자빔을 조사하여 감광제재를 구성하는 고분자를 결합 또는 절단하여 시료 면상에 감광제 패턴을 형성하는 기술로, 1950년대에 주사형전자현미경의 기술을 기초로 출발했으며, 최근에는 반도체소자, 특히 초 LSI의 제조라인으로 사용되어있는 축소투영노광장치(스텝퍼)용의 레티클(확대mask)의 제작에 있어 핵심적인 기술이다.

참고 자료

없음

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