각종 진공 pump 원리 및 사용 방법

소개글

반도체 공정에 사용되는 진공장비에 관한 자료 입니다.

목차

1. 각종 진공 pump 윈리 및 사용 방법
⑴. 진공 pump의 분류
⑵. 진공 pump의 원리

2. Sputtering 원리 및 사용 방법

3. Sputtering 방법으로 증착된 금속 박막의 Surface profiler를 이용한 두께 측정 결과와 4-point probe로 측정된 두께 측정 결과 오차와 오차 원인 분석

4. 결론

본문내용

1. 각종 진공 pump 윈리 및 사용 방법
⑴. 진공 pump의 분류
1) positive displacement 펌프 : 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리
펌프(rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)등 대부분의
기계적인 펌프가 이에 속한다.
2) entrapment 펌프 : 배기시킨 기체가 여전히 진공 용기나 펌프 속에 남아 있는
경우이다. 포획 펌프(capture pump)`라고도 부른다. 여하튼 진공 용기 내부의
공간으로 부터 기체분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도
펌프라고 부를 수 있다. 흡착 펌프(sorption pump)나 냉온 펌프(cryopump), 이온 펌프(ion
pump)가 이에 속한다.

⑵. 진공 pump의 원리
1) positive displacement 펌프
① 로터리 펌프(Rotary vane pump) 로터리 펌프는 정지자(stator), 회전자(rotator)
그리고 vane에 의해 흡입(A), 압축(B,C),
배기(D)의 과정을 거쳐 작동하게 된다.
Vane과 회전자에 의해 압축된 가스의 압력이
배출밸브를 열기에 충분할 정도로 높아지면,
밸브가 열리면서 가스가 배출되게 된다.
로터리 펌프는 윤활제의 역할뿐만 아니라
회전에 의한 마찰열의 감소와 정지자와
vane사이의 공간을 막아주기 위하여 오일을
사용하게 되는데, 사용하는 오일의 증기압이
낮아야 좀더 낮은 압력까지 낮출 수 있고,
역류(backstream)에 의한 진공용기의
오염을 방지할 수 있다

참고 자료

없음