플라즈마 질화처리를 이용한 설계

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플라즈마 질화처리를 이용한 설계 자료입니다.

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플라즈마란?
플라즈마 상태
- 기체분자가 전기적으로 전자와 이온으로 해리된 상태
음전하와 양전하의 수가 거의 같아 전기적으로 중성인 상태
Coulombic interaction이 존재하나 서로 상쇄되어 charge가 자유입자처럼 움직임
- 우주 구성 물질의 99 % 이상이 플라즈마 상태로 구성
- 플라즈마 밀도 ne : 1-1020cm-3, 전자온도 Te : 10-2 - 105 eV(#1)
플라즈마질화 생성원리
플라즈마 질화
플라즈마 질화목적
1) 표면을 경하게 하고 다공성이어서 내마모성을 향상시킨다.
2) 표면에 화합물층을 생성시켜 내식성을 향상시킨다.
3) 내소착성을 향상시킨다.
4) 내열성을 향상 시킨다.
5) 확산층을 생성시켜 피로강도를 향상시킨다.
6) 처리품의 내부 인성을 유지할 수 있다.
7) 변형이 극히 적다.
플라즈마 질화
<플라즈마 질화 공정도>
플라즈마 질화
ε상, γ’ 상, 화합물 층(Compound layer)
플라즈마 질화처리 장점
가스 질화법에 비해 2~2.5배 빠른 질화 속도
단상을 얻을 수 있고 두께조절이 용이
질화층이 박리되지 않고 높은 광택성 유지
입계 산화가 일어나지 않음
특별한 후처리 공정이 필요 없음
깨끗한 작업환경
플라즈마 질화처리 단점
초기시설 투자 비용이 상대적으로 높음
보조 히터가 없을 시 경화 깊이가 불균일
가격이 비쌈

참고 자료

없음

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