PLED 제작

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최초 등록일: 2011.09.15
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고분자 재료 실험

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4. 실험
1) ITO 기판의 Scribing 및 전처리

①원하는 크기(35mm X 35mm)의 SIze로 ITO Glass를 자르고 질소를 이용하여 유리 가루 등의 이물질을 불어낸다.

② Scribing 된 ITO 기판을 전처리 공정에 의해 전처리 한다.

2) 고분자 Spin coating
① 전처리 된 ITO 기판을 glove 박스로 이송한다. PEDOT:PSS는 0.5 PTFE 실린지 필터를 이용하여 filtering하고, polymer는 cholorobenzene에 0.5wt%의 농도로 용해시켜 24시간 교반하며, 5 PTFE 실린지 필터를 이용하여 filtering 한다.

②PEDOT:PSS는 4000rpm, polymer는 3100rpm으로 spin coating 한다. Spin coating 후 PEDOT:PSS는 110에서 20분, polymer는 90에서 1시간동안 열처리하여 잔류용매를 제거하고, 발광면을 제외한 전극부분의 고분자들을 지워준다.

3) EIL 및 전극 증착
① EIL과 전극물질을 증착하여 위하여 열증착기(Thermal Evaporator)의 고진공 챔버(이하)로 이송하며, 순으로 전극을 증착한다.

4) 봉지공정
① 유기물과 금속 전극이 증착된 소자를 glove box로 이송한다.

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없음

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