진공증착

소개글

4학년 논문 쓸때 실험 참고가 되는 실험입니다. 물리학 실험 5로 4학년 개설되는 과목입니다.

목차

1. 진공이란?
2. 왜 진공을 만들어야 하는가?
3. 오일 회전 베인 펌프 (Oil Rotary Vane Pump)
4. 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)
5. 진공 증착
6. 진공 게이지
7. 실험 방법
8. 결과 및 고찰

본문내용

3. 오일 회전 베인 펌프 (Oil Rotary Vane Pump)
거의 모든 진공 시스템에 값싸게 보편적으로 많이 사용되는 펌프로서 압축 과정중의 sealing을 위해 적당한 점도 및 화학적 내성(사용하는 오일의 전도는 펌프 제조업체들이 생산 제품에 가장 접합한 오일을 사용하도록 권장)을 갖는 오일을 사용하게 된다. 특히 사용되는 오일은 그 펌프를 통해 도달할 수 있는 ultimate pressure를 결정하고 공정에 사용되는 가스 및 화학물질에 대한 내성의 정도가 다르기 때문에 적합한 오일의 사용이 매우 중요하다. 일반적으로 오일펌프에 사용되는 오일은 광물계통(mineral)과 불소계통의 오일로 나누게 된다. 오일 회전식 베인 펌프는 다른 펌프들과 달리 대기압에 대해서 정도의 고압축비를 달성할 수 있지만, 잘 알려진 것처럼 회전식 베인 펌프는 배기 용량 및 배기 속력이 피스톤 펌프에 비해 작다. 그러나 회전식 베인 펌프는 유지 보수가 쉽고 같은 배기 속력을 갖는 피스톤 펌프에 비해 그 크기가 작으며, 소음도 적어 많이 사용되고 있다. 반면에 피스톤 펌프는 배기 용량 및 배기 속력이 빨라야 하고 소음 문제가 그리 심각하지 않은 일반 산업용으로 많이 사용된다.

참고 자료

없음