진공 증착(Coating) 장비의 운영 및 이론 manual

소개글

진공증착의 기본 원리와 장비 운영에 관한 자세한 메뉴얼(Manual)

목차

진공 증착의 이론
단층 박막 coating의 이론 및 목적
펌프의 원리 및 구조
HVC-550BM 장비 운영 방법(Manual)
Spectrophotometer 사용 방법
HVC-1050DA 장비의 부분 명칭 21-36
HVC-1050DA 중요 장비부
HVC-1050DA 멀티 코팅기 운영방법(Manual)
- 단층 박막 coating
- IR CUT COATING
- Wide anti Refraction(BBAR)
- 수막 COATING
세척 및 검사

본문내용

일반렌즈(코팅전)의 광학적 투과율은 표면에서 4%의 반사를 일으켜 약 96%이지만 단층 박막 코팅을 함으로써 광학적 투과율을 약 98%까지 올려주어 렌즈간 생길 수 있는 난반사를 줄여준다.(또한 렌즈의 표면을 보호하기 위함)
이론
단층 박막 코팅의 광학적 두께(수직 입사시)
nd= λ/4
nd= 광학적 두께 (n=약품의 굴절률, d= 물리적 두께)
λ= 중심파장
일반적으로 광학 박막은 진공 챔버에서 열 증발법을 이용하여 증착한다. 챔버는 먼저 회전 펌프로 약 5~8×0-2torr의 저진공 상태를 만들고 확산펌프, 크라이오 펌프, 분자 펌프 등의 고진공 펌프로 0-6~0-7torr정도의 고진공 상태를 만들어 증착의 기본 진공으로 사용한다.
진공 챔버에서 고체 물질에 열에너지를 공급하여 물질을 녹이면 고체는 액체가 되고 액체 표면에서 원자들이 기체 상태로 증발하며, 승화 물질은 고체 상태에서 열을 받아 바로 기 체 상태로 바뀌어 증발한다. 열 증발 진공 증착에서는 열저항이나 전자빔으로 열에너지를 물질에 공급한다. 열저항 증발법에서는 선(wire), 판(plate), 보트(boat), 배스킷(basket) 등의 금속 증발원에 증착하려는 물질을 넣고 전류를 흘리면, 금속 증발원의 저항에 의하여 발생하는 열이 물질을 녹이고 기체 상태로 증발시킨다. 전자빔 증발법에서는 도가니(crucible)에 증착하려는 물질을 넣고 전자빔으로 물질을 녹여 증발시킨다.
박막의 증착률과 물리두께는 수정 진동자로 측정하고, 광학 두께는 광학 감시기와 기준 기판을 이용하여 측정한다. 또한 기판의 온도를 조절 할 수 있으며 두께가 균일하도록 기판 지지대를 회전시킨다.

참고 자료

없음