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02AES_발표

*홍*
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최초 등록일
2012.02.18
최종 저작일
2010.03
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공학 레포트

목차

AES 란?

AES 의 원리

AES 의 구조

장점 및 단점

본문내용

AES 란?
Auger Electron Spectroscopy
Auger 전자 분광분석
Auger 전자 현미경
시편에 가속전자를 쪼아 발생하는 Auger 전자의 에너지 분석
→ 시편 표면의 성분과 화학적 상태를 분석하는 기술

전자 방출을 위한 에너지원 : X-선, 전자빔 사용
방출 전자의 에너지원
전자빔을 에너지원으로 사용

시편에 전자빔을 쪼이면 시편 원자의 내각전자가 이온화 즉,들뜬상태가 되었다가 다시 채워지면서(바닥상태) 특정 X선이 발생하거나 느슨한 외각 전자가 방출
Auger 전자란?

AES 의 원리
광자 방출 안됨
→ 에너지가 주위의 다른 전자에 전이됨
광자 방출
→ X-ray emission

AES 의 구조
Schematic view of Microlab 310D
Primary beam으로 사용

Sample에서 방출되는 전자의 에너지 스펙트럼을 측정

Sample표면 cleaning & depth profiling을 위한
Sample을 조작

AES 의 주요 적용 범위
극 표면(수 A)에 대한 조성 분석
박막의 깊이, 방향, 원소분포 분석 (Depth profiling)

참고 자료

없음

태그

#무지개#반사의 법칙#물방울#반도체#나노#반도체공학#공대#반사#녹색에너지
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