15Etching

*홍*

개인인증 판매자스토어

최초 등록일: 2012.02.18
최종 저작일: 2010.03; 48페이지/ MS 파워포인트; 가격 1,000원

다운로드

장바구니

EasyAI가 새로운 문서 초안을 작성해 드립니다.
EasyAI란? 해피캠퍼스의 자료를 바탕으로 새로운 초안을 작성해주는 AI 서비스입니다.

지금 경험해 보기

상세정보
자료후기 (0)
자료문의 (0)
판매자정보

소개글

공학 레포트

본문내용

#. 박막이 형성된 웨이퍼 위의 불필요한 부분을
제거하여 회로 패턴이 드러나도록 하는 과정.
#. 회로패턴을 형성시켜 주기 위해 화학물질
(습식)이나 반응성 GAS(건식) 를 사용.
#. 결정면에따른 식각 속도에 따라 이방성 식각
과 등방성 식각으로 나눌 수 있다.

1. Wet etching (습식식각)
산 계열의 화학약품으로 웨이퍼 표면의
불필요한 부분을 깎아 내는 방법.
2. Dry etching (건식식각)

GAS를 공급해 반응을 일으켜서
증기압이 높은 물질 또는 휘발성 물질을 생성시킴으로써 식각하는 방법.

#. 습식식각은 액상의 식각용액에 웨이퍼를
넣어, 화학적 반응에 의해 표면을 식각해 내는
방법이다.
#. 식각하고자하는 재료(막질)에 따라서?
사용되는 화학물질(식각용액)이 달라진다.
#. 표면 연마, 웨이퍼 세척
최소 선폭 3㎛ 이상인 반도체소자 제작시 사용.

참고 자료

없음

이 자료와 함께 구매한 자료

형광체 실험 보고서 40페이지
형광체 실험 발표 41페이지
[에칭공정]에칭(etching)의 이해 및 공정 8페이지
Etching and Packaging of Micro System Process 4페이지

주의사항

환불정책

해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.

파일오류	중복자료	저작권 없음	설명과 실제 내용 불일치
파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우	다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함)	인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우	자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

이런 노하우도 있어요!더보기

찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

60습식식각 14페이지

3H2식각률은 인산과 물의 비, 온도로 결정식각중 눈에 띄는 종말점을 찾을수 없어 15분 ... 습식 식각목 차Wet etching ? ... 식각GaAs 식각PSG 식각Wet Etching ?
부경대학교 VLSI 과제(CMOS 인버터) 실험보고서 16페이지

x=8.5 y=-15etch alum start x=20.25 y=-10etch ... x=22 y=-15etch alum p1.x=28 right10) electrode ... spac=0.5line x loc=11 spac=0.1line x loc=15
PDMS를 이용한 Micro pyramid 제작 6페이지

멀쩡 ‘고체산화물 연료전지’ 제작”, 국가과학기술연구회, 2020.07.15 ... NH4F는 etch rate를 HF에 비해 etch rate를 1/20 정도 ... 늦춰주는 완충제 역할을 하면서 etching의 균일성을 높인다.
[재료공학기초실험]광학현미경 조직검사 5페이지

polishing pad 뿐만 아니라 시편,holder 및 그 주변을 10～15초 ... , magnetic etching, ion etching, thermal ... etching, anodizing, potentiostatic etching
silvaco 태양전지 만들기 3페이지

taun0=3e-4 taup0=3e-4beam num=1 x.origin=15.0 ... x=0 y=0etch cont x=0 y=5etch done x=1.875 ... c.phos =1e14 space.mul=2#한부분 애칭IF cond=1etch
반도체 8대 공정 정리 56페이지

v=AMgQ1-HdElM 웨이퍼 제조 15 개 공정Ⅰ. ... 일반적으로 Wet Etching 은 등방성 , Dry Etching 은 이방 ... 이용하는 건식 식각 (Dry Etch) 가 있다 .
[반도체공학실험]반도체 패터닝 7페이지

10분동안 진행)14) Ashing된 박막을 꺼내어 광학현미경으로 관찰한다.15 ... 식각속도 계산방법가정) Etching 과정 도중에는SiO _{2}는 계속 ... } = ΔPR _{1} / 2minV _{SiO _{2} -Etching}
포토리소그래피 실험 리포트 3페이지

15초)[5] Hard baking (90초)[6] Develop (60초 ... 점이 있다면 negative에서 Exposure(노광) 과정을 8초에서 15초로 ... )[7] Etching (3분)[8] Strip (3분) (Negative
T-CAD를 활용한 NMOS 설계 38페이지

Thickness : 0.0025 Gate Length : 3.85~6.15 ... 1E17 2.41475 744.4 농도 Vth (V) Id( uA ) 5E15 ... P-sub 농도 : 6E17 Source drain doping 농도 : 7E15
8대공정 요약 2페이지

불순물로는 15족 원소, 13족 원소를 사용합니다. 15족 원소를 주입하면 ... dry etch가 확대되고 있습니다. dry etch시 균일도 유지와 etch ... Dry etching은 wet etching에 비해 비용이 비싸고 까다로운
고체역학설계실습 A+ Metallurgicla microscope 실험 보고서 15페이지

www.sciencedirect.com/topics/engineering/petch-ens15 ... Appendix ……….……………………………………14-15 page3IntroductionObjectiveThe ... So, etching process is necessary.
인하대 패터닝 결과보고서 9페이지

, C2F6 15sccm (#3)Etching of PR (a-(b-c)) ... 데이터의 산술평균Ar 20sccm, C2F6 10sccm (#1)Ar 15sccm ... 식각 속도가 증가하는 부분은 상대적으로 무거운 C2F6가 etch rate
[신소재공학실험]탄소강의 열처리 8페이지

~ 0.350.15 ~ 0.35Mn0.30 ~ 0.600.60 ~ 0.90P ... 화학성분구분SM20CSM45CC0.18 ~ 0.230.42 ~ 0.48Si0.15 ... 한다. etching에는 용액을 사용하는 습식(wet etching)과
반도체 7개공정 요약본 18페이지

금속배선 15 /18 장점 단점 - 알류미늄보다 비저항이 낮다 - Etch ... 식각 10 /18 습식 식각 (wet etch) 건식 식각 (Dry etch ... WAFER 제조 Edge Rouding Lapping Etch CMP 4
고체역학실습 레포트 1 15페이지

grainMethodsEquipmentMetallurgical microscopes, grinders,ght of 15g ... Shows the specimen after etching. ... So etching process should be also done.
[신소재공학실험]탄소강의 조직 관찰 및 경도 측정 5페이지

xx.xx (45C수냉제외)종류노냉공냉수냉SM20C74.388.2596.15SM45C82.4101.45H ... 이때 etching 시간은 40초였으며 etching직후 etching용액을 ... SM45C(2㎝), 사포(320～2000), mounting resin, etching