40나노_기술_응용(소자)

*홍*

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최초 등록일: 2012.02.18
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공학 레포트

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그래핌 이라고 불리는 탄소 육각 망면이 나노미터 급의 직경의 원통으로 말린 중공의 관이며, 이 관을 구성하는 원자 층의 두께에 의해 단층 나노튜브(SWNT)와 다층 나노 튜브(MWNT)의 2종류로 대별된다.
전계에미터로서 최적의 형태를 갖고 있으며 게다가 전기전도성이 양호,표면이 화학적으로 안정되어 불활성이며 기계적으로 강인한 특징이 있고, 원자의 표면확산이 작기 때문에 끝형태가 안정되어 있는 등. 전자방출소재로서 우수한 특징을 구비하고 있다.
CNT(탄소나노튜브)란?
탄소 육각 망면과 단층 나노 튜브

CNT-FED에 사용되는 나노 기술
고정밀 미세화를 위해 photo lithography기술을 이용함으
로써, 게이트 전극을 CNT음극의 바로 근방에 짜서 넣은
게이트붙은 CNT음극을 만듬
Photo lithography기술
웨이퍼 위에 만들려고 하는 패턴을 지니고 있는 마스크를 통해 빛을 통과시켜 그 형태를 마스크로부터 감광제로 옮기는 작업.
즉, 광원을 이용하여 원하는 부분을 형성시키는 기술

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