59스퍼터링02

*홍*

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공학 레포트

본문내용

스퍼터링 이란?
1852년 Grove에 의해 처음 발견된 현상으로 높은 에너지(>30eV)를 가진 입자들이
Target에 충돌하여 Target원자들에게 전달해 줌으로써 Target 원자들이 방출되는 현상

스퍼터링

스퍼터링 고안하게된 이유

Evaporation
Sputtring
1. 기판의 표면에 기복이 존재하는 경우에는 증착이 되지 않는 부분도 있고 부위별로 두께가 다름
2. 소스뿐 아니라 용기의 원자도 증발되서 증착될수 있어서 고순도의 박막증착 힘듬
1. 열에너지가 아닌 운동에너지로 소스타겟의 원자를 탈출시키고기판에 Random하게 이동해 기판표면에 기복이 있어도 균일한 증착
2. 타겟 소스를 여러 개 놓고 동시 스퍼터가 가능하므로 다성분 박막증착에 효율적이다

참고 자료

없음

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