61실리콘단결정성장기술

소개글

공학 레포트

목차

단결정 실리콘 성장기술

단결정 실리콘 제조 방법 - 인상법
- 장단점
- 한계
- 부상 도가니 Czochralski
- 액상 방지막 Czochralski

단결정 실리콘 제조 방법 – 부유 대역법

그 외의 성장기술

본문내용

프로우팅 존 (Floating Zone)의 특징

도가니가 Si에 직접 접촉하지 않아
고순도 실리콘 단결정 얻음
매우 빠른속도
제조 장치 비용이 비싸 제조 단가가 고가
큰 지름의 단결정 봉 제작이 어려움

프로우팅 존 (Floating Zone)의 정리
1.실리콘의 비중이 작고, 표면장력이 크므로 용융 부분을 적당 한 온도나 폭으로 유지하면 녹아서 흘러 내리는 일은 없다.
2.도가니를 사용하지 않아 쵸코랄스키 방법보다 매우 순수한 단결정 제조가 가능
3.상대적으로 제조 장치 비용이 비싸 제조 단가가 고가
4.방법적인 특성상 큰 지름의 단결정 봉 제작이 어려움
(보통6인치 이하 고순도 단결정??봉 제작 용도로 널리 사용)

참고 자료

없음