77태양전지

*홍*

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공학 레포트

본문내용

CIGS 흡수 층 제작→ co-evaporation, sputtering, 유기금속 기상성장법(MOCVD)

co-evaporation(동시 증착법)

진공 챔버 내에 설치된 작은 전기로의 내부에 각 원소를 넣고 저항가열하여 기판에
진공증착 시켜 CIGS 박막을 제작하는 기술
장점 : 제작공정 간단 단점 : 진공장치 내부의 오염
제작비용 저렴 양질의 박막제장 용이치 않음
대면적화가 어려움

Sputtering(스퍼터링 법)

금속판에 아르곤 등의 불활성 원소를 부딪쳐서 금속 분자를 쫓아낸 후 표면에 막을 부착하는 기술

장점 : 금속 또는 절연체를 증착할 수 있음
Ar과 다른 혼합가스를 사용하여 반응을 수반한 화합물 증착이 가능
넓은 면적의 박막 제작

참고 자료

없음

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