[재료공학실험] 진공, cvd, pvd

목차

■ 조사 사항
● 진 공
1. 토리첼리의 실험
2. 진공도의 단위
3. 절대 진공도와 게이지 상의 진공도
4. 진공펌프의 용량 단위
5. 진공도에 따른 진공 영역의 구분
6. 진공펌프의 종류
7. 진공 펌프의 원리
1) 로타리 베인 펌프
2) 로타리 피스톤 펌프
3) 로타리 기어펌프
4) 피스톤 펌프
5) 다이아 후렘 펌프
6) 루츠 펌프
7) 수봉식 펌프
8) 터보 분자 펌프
9) 확산펌프
10) 이젝타 펌프
11) 흡착펌프
12) 이온펌프
13) 게터펌프
14) 승화펌프
15) 저온 냉각 펌프
● PVD(Physical Vapor Deposition)
물리증착법 (PVD) 에 의한 코팅
1. 코팅방법
CVD(Chemical Vapor Deposition)
CVD와 PVD의 장단점

본문내용

● 진 공
1. 토리첼리의 실험
1643년 이탈리아의 물리학자 토리첼리는 유리관과 수은을 사용하여 다음과같은 실험을 하였습니다. 즉, 단면적1cm인 한쪽 끝이 막힌 길이 1m의 유리관 안에 수은을 가득 채운 다음, 수은이 담긴 그릇 안에 거꾸로 세우면, 유리관 안의 수은주는 그릇에 담겨 있는 수은의 표면으로부터 76cm의 높이를 항상 유지 하게된다는 것입니다.
이때 유리관 위쪽에는 진공상태가 되는데 이를 "토리첼리 진공"이라 합니다.
유리관 안의 수은주가 76cm가 되는 것은 수은주의 무게가 그릇에 담긴 수은의 표면에 작용하는 대기의 압력과 균형을 이루기 때문입니다. 이 실험으로 대기압(1기압)은 높이 76cm의 수은주 무게와 같다는 사실이 발견되었으며, 이는 오늘날 진공의 측정 단위에 있어서도 기초적인 개념이 되고 있습니다.
우리가 흔히 사용하는 진공도의 단위인 토르(Torr)는 토리첼리의 머리글자를 딴 것이며, 대기압 상태를 표시하는 760Torr나 760mmHg, 76cmHg 등도 모두 토리첼리의 실험에서 나타나는 수은주의 길이를 이용 한 대기압의 표시인 것입니다.

참고 자료

http://palgong.knu.ac.kr/~cvdlab/lecture.htm
http://igreenwe.hihome.com/old/vacu.htm
http://www.hanvacuum.co.kr/frame1.htm
http://www.e-cerakorea.co.kr/tech.htm
http://www.postech.ac.kr/ce/lamp/main.html