sem의 원리와 구조

소개글

sem의 원리와 구조와 특징을 잘나타내는 ppt입니다.

목차

1.sem이란
2.sem원리
3.sem특징

본문내용

SEM (Scanning Electron Microscopy) 이란?
전자현미경은 높은 에너지의 전자빔을 이용하여 전자가
시편과 충돌할 때 발생하는 이차전자, 반사전자, X-선 등을 검출하여 확대상을 촬영 하는장치.
특 징
1. 매우 높은 분해능을 가진다
2. 고배율 뿐만 아니라 저배율 관찰에도 사용 가능
3. 한번에 많은 양의 샘플도 관찰 가능
4. Large depth of field(피사계 심도)가 깊어
높낮이 큰 대상물 관찰 가능
5. TEM에 비해 시편 준비과정이 간편
6. 대상물에 대한 화학정보도 얻을수 있다.
7. 진공을 유지해야 한다.

SEM 원리
전자총의 역할은 전자를 만들고 가속시키는 역할을 한다

구동원리
자기렌즈
전자가 자장에 의해 휘는 성질을
이용하여 전자를 한곳으로 모으는 역할

축조정 코일
음극 바로 밑에서 전극 코일을 통해
X-Y축방향으로 집속렌즈의 축에 일치

참고 자료

없음