Leak 탐지 방법과 잔류 Gas 분석 방법 발표

소개글

진공펌프의 Leak를 탐지하는 방법들과 잔류 Gas 분석 방법을 정리하였습니다. 진공의 기초를 토대로 요약하였습니다.

목차

* Leak 탐지 방법
1) 스파크 코일 기술
2) 압력 변화 방법
3) 헬륨 질량 분석기 리크 탐지기
(1) 헬륨을 사용하는 이유?
(2) 리크 탐지기 시스템
(3) 헬륨 리크의 탐지 방법

*잔류 Gas 분석 방법

본문내용

스파크 코일 기술
고전압이나 테슬라 코일을 사용하여 공기의 이온화를 야기

글로우 방전을 생성

유리 시스템 내부에서만 사용이 가능

높은 강도의 아크는 폭발할 염려가 있기 때문

두 시스템 비교
콘트라-플로우 디자인의 테스트 포트는 상대적으로 고압 구역인 확산 펌프의 포라인과 연결되어 있으므로 재래식 리크 탐지기 디자인보다 훨씬 더 큰 리크 검사가 가능

세밀한 리크 테스트를 하기 전에 시스템이 고진공 상태가 되기를 기다릴 필요가 없음

재래식 리크 탐지기의 장점
확산 펌프를 통해, 최종적으로 기계식 펌프를 거쳐 대기 중으로 빠져나가는 길이 꼭 한 가지가 아니기 때문에 리크에 대한 탐지도가 더 높다.

콘트라-플로우와 비교
- 대부분의 기체가 분석기 튜브로 들어가지 않고 오직 헬륨만 들어감 → 재래식과는 대조적

두 형태 모두의 문제

부적절하게 사용되면 기계식 펌프 오일의 역류현상이 일어남-

오일 증기에 민감한 시스템을 리크 검사 한다면 리크 탐지기에 여분의 트랩을 가져야 함

<중략>

이온원
2) CIS (closed ion source) 이온원

torr의 상대적으로 높은 압력에 있는 진공용기의 압력을 측정하거나 process
chamber의 불순물 가스를 측정할 때 사용

- OIS 이온원과는 달리 전자는 한 쪽 방향으로 한번만 지나갈 수 있으며 electron trap에 도달
하는 전자의 전류량이 항상 일정하도록 필라멘트에 흐르는 전류를 feedback 제어하여서
재현성 있는 신호를 얻음

- 필라멘트는 이온화 챔버인 anode tube 바깥에 위치하므로 필라멘트로부터 발생되는 가
스의 영향이 OIS 이온원보다 적다.

참고 자료

없음