SPM / STM / AFM 제조공정 및 개요

소개글

SPM / STM / AFM 제조공정 및 개요를 깔끔하게 ppt로 작성한 레포트자료입니다.

목차

1. SPM이란?
1) SPM(Scanning Probe Microscope)
2) SPM의 응용분야
3) 분석방법 비교

2. STM
1) STM(Scanning tunneling Microscope)
2) STM의 원리
3) disadvantages

3. AFM

4. 이 외의 SPM

본문내용

1) STM(Scanning tunneling Microscope)
미세구조 관찰의 필요성 대두…
광학현미경 전자현미경 원자현미경

스위스 쮜리히소재의 IBM 연구원이었던 Binning, Roher, Gerber와 Weibel에 의해 1982년에 개발

정의: STM (Scanning Tunneling Microscope)과 AFM (Atomic Force Microscope)을 통칭하여 부르는 용어. 날카로운 탐침(Probe or Tip)이 표면에 수 Å 이내로 접근하여Scanning

2) SPM의 응용분야
표면 물리학
반도체의 표면계측
분자 생물학
전기 화학
재료 공학
기타 표면 분석

3) 분석방법 비교

2. STM
1) STM(Scanning tunneling Microscope)
최초의 원자 현미경
가느다란 텅스텐 선을 전기 화학적으로 에칭 시키면 그 끝이 아주 뾰족하게 되어 맨 끝에는 원자 몇 개만이 존재
원자 한 두개 크기의 간격(~0.5nm) 으로 표면 접근
양자역학적 터널링 효과

참고 자료

없음