마이크로 나노공학 양성pr리포트
- 최초 등록일
- 2012.07.08
- 최종 저작일
- 2012.05
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소개글
LIGA 공정,양성 PR과 음성 PR의 화학식,구조식
목차
1. LIGA 공정에 대해 아는바 기술하고 응용한 제품의 예를 들어 설명하시오
2. 양성 PR과 음성 PR의 화학식, 구조식 작동원리에 대해 설명하라
본문내용
1. LIGA 공정에 대해 아는바 기술하고 응용한 제품의 예를 들어 설명하시오
1. LIGA 공정이란??
LIGA(LIthographie, Galvanoformung, Abformung)공정은 X-ray 식각기술 (X-ray lithography), 정밀도금기술(Electroplating), 정밀 사출기술(Moulding)의 기본 공정으로 이루어지며 이중 가장 중요한 것은 식각에 사용하는 방사광 광원의 특성이다.
각 공정은 고형상비를 얻기 위해 높은 에너지의 X-ray 방사광 (Synchrotron Radiation)을 사용하여 상대적으로 두꺼운 감광재에 필요한 패턴을 노광하고 현상하는 X-ray 노광공정과, 현상된 빈공간을 금속으로 채우고 남아 있는 감광재를 제거하여 독립된 금속 구조물을 제작하는 전기도금공정, 도금공정으로 만들어진 금속구조물을 정밀주형으로 이용하여 plastic 제품을 만들거나 lost mold를 만드는 주형공정으로 이루어 진다.
<중 략>
2.음성 PR
음성감응물질 아자이드와 감광제
감응물질, 기본합성수지물질, 유기용제
빛이조사---> 감응제가에너지흡수---> 연결고리형성
음성:빛이 조사된 부분일지라도 감광제가 완전히 녹을 수 있는 최소에너지
음성PR의 종류
COP, GESE, DCOPA, Kodak 747
참고 자료
http://www.sciencetimes.co.kr/article.do?todo=view&atidx=0000058949
세종대학교 집적회로공정기술 자료
Harry J. Levinson, Principles of Lithography, 2nd ed. (2004).
EUVL Projection on Samsung’s Device Roadmap, 2009
EUVL Symposium, J. Yeo (2009).
