[LCD실험]Color Filter 제작 및 광학적 특성 평가
- 최초 등록일
- 2012.07.11
- 최종 저작일
- 2012.06
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소개글
LCD실험 A+ 보고서입니다.
목차
1. 실험목표
2. 실험장비
3. 실험방법
4. 실험결과
5. 토의 및 분석
6. 참고문헌
본문내용
3. 실험방법
A. Color Filter 제작
1) 코팅을 할 재료별로 다음 표1과 같은 조건에 따라 Spin coater를 programming 한다.
2) Spin coater위에 Glass substrate를 올려놓고 진공을 잡은 후 Black Matrix 물질을 충분히 도포한다.
3) Spin coating을 한 후, Spin coater의 진공을 해제하고 7분간 Soft baking 한다. 이 때 spin coater 내부를 증류수를 이용하여 세척해야 다음 실험에서 불순물이 섞이는 것을 막을 수 있다.
4) Soft baking 후에 기판을 UV exposure system에 올리고, Black matrix pattern 형성이 된 mask를 그 위에 align 한다.
5) 120초 동안 UV exposure를 진행하여 빛을 받은 부분을 경화시킨다. (negative type)
6) 노광이 끝나면 기판을 D.I. water : Developer = 2000mL : 20mL 으로 농도를 맞춘 Developer 용액에 develope한다. 이 때 피펫을 이용해 용액을 섞어주면 효과적인 develope이 가능하다.
7) Develope이 끝나면, 기판을 D.I. water로 cleaning하고 10분간 hard baking 한다.
8) Hard baking이 끝나면 Black matrix가 완성된 기판을 다시 Spin coater에 올린 후, 진공을 잡고 Blue phosphor를 도포한다.
9) Spin coating을 한 후, Spin coater의 진공을 해제하고 7분간 soft baking 한다.
10) Soft baking 후에 기판을 UV exposure system에 올리고, Blue pattern이 형성된 mask를 그 위에 align한다.
11) 120초 동안 UV exposure를 진행하여 빛을 받은 부분을 경화시킨다.
12) 노광이 끝나면 기판을 D.I. water : Developer = 2000mL : 30mL 으로 농도를 맞춘 Developer 용액에 Develope한다.
참고 자료
디스플레이공학, 이준신 외, 홍릉과학출판사.
정보디스플레이개론, 장진, 청문각.
색재현의 원리, Noboru Ohta, 진샘미디어