표면공학 - 화학증착법 발표

소개글

화학증착법의 소개와 화학증착법 실험 설계
그리고 개스 유체역학과의 연관선

목차

PPT 발표자료입니다.

본문내용

화학 증착법 (Chemical Vapor Deposition)
: 일반적으로 가열된 가판 표면부근에 또는 그 위에서
발생한 화학적 반응에 의해, 고체물질이 증기로부터
증착되어지는 공정

☞ 피복력이 우수하고 균일하며 복잡한 기판에 코팅이 가능.
국부적, 선택적 증착 가능.

☞ 전자산업, 내마모성 및 내식성 코팅, 광섬유, 고온재료, 태양전지,
고온 섬유복합체 등에 사용

<중 략>

CVD에서는 부식성, 유독성가스를 많이 사용하기 때문에 특히 배기가스처리에 많은 신경을 써야 한다. 대개 cold trap에 의한 제거, 흡수나 개스세정기(scrabber) 등을 통해서 수세, 중화 등을 하게 된다.
CVD에서는 다소 유독성이고 폭발적, 그리고 부식성 개스가 사용되어지거나 형성되어지기 때문에 배기전에 그것들을 제거하기 위해서 개스세척기를 사용한다.

① 유체의 정의
유체에 가한 전단력이 아무리 미소하다 할지라도 그것에 의해 변형, 즉 움직임이 발생하고 전단응력이 작용하는 한 계속해서 움직이며 변형하는 물질=>액체, 기체
②점성에 따른 유체의 분류
-점성유체:점성이 있는 유체를 점성유체라 하고 점성유체의 흐름을 점성유동이라 한다.
-비점성유체:점성을 무시한 유체로 실제로는 존재하지 않는 유체로서 이상유체라 하며 비점성 유체의 흐름을 비점성유동이라 한다.

<중 략>

선택적 화학 증착에 예를 두가지 정도 들 수 있다.

증착은 기판 표면의 몇몇 지역에 일어난다.
선택성은 다른 집속된 빔들에 의해 얻어 질 수 있으며 빔은 그것을 때리는
영역에서 국부적인 CVD 반응을 유도 할 수 있다.

레이저로 매스크를 통해 기판표면을 조사하는 것이다.
식각된 기판에서도 선택적 화학 증착이 가능하다. 이 경우에는 선택성은
다른 기판재료와 증기사이의 초기 계면 반응 들의 차이에 기초를 둔다.
기판 재료의 계면 반응 들은 핵생성을 피하기 위해 금지되어야 하는 반면
증착 반응 들은 증착이 일어날 수 기판 영역에 의해 자극되어야 한다.

참고 자료

없음