Auger Electron Spectroscopy(AES) 분석장비에 대하여

소개글

Auger Electron Spectroscopy(AES)의 분석장비에 대한 내용을 요약한 자료입니다. 보시고 유용한 부분있으시면 받아가세요

목차

Auger Electron Spectroscopy (AES)의 정의

AES 구성도

AES의 원리

AES의 특징

AES의 분석 및 적용

AES의 장 단점

본문내용

Auger Electron Spectroscopy : 시험, 연구용으로 널리 사용되는 표면분석법의 하나로 고진공 중에서의 시료에 전자빔을 조사하면 전자가 방출되어 여기상태가 되나 이 완화과정에서 오거전자가 방출되며, 그 에너지는 원소 고유의 값이므로 원소분석이 가능하다. 5~10㎛Φ 정도의 면적, 표면에서 약 10Å의 깊이까지라고 하는 대단히 좁은 범위를 약 0.1 중량 %의 감도로 분석할 수 있다. 특히 경원소에서의 분석에 유리하다(단, Hg는 제외). Ar+이온 스패터링을 병용하여 깊이 방향의 분석도 가능하다. 분석 대상물은 금속, 반도체, 폴리머 등의 유기물과 세라믹 등 대단히 광범위하다.

Auger electron : 오제 효과에 의해 방출되는 전자. 즉 들뜬 상태에 있는 원자가 바닥상태로 전이하여 전자가 저위 궤도로 이행할 때, 다른 전자가 그 에너지를 받아들여 방출하는 일이 있다. 이와 같은 전자를 지칭한다. 원자번호가 작은 원자와 비교적 외측 각에 빈 구멍이 생긴 경우에 많이 볼 수 있고, 원자번호가 큰 원자의 내각에 빈 구멍이 생겼을 때는 X선을 방사한다.

<중 략>

내부잔류 gas로 부터의 흡착
식각된 물질의 재침전
이온빔의 impurities
이온빔으로부터의 neutrals
이온빔 intensity의 불균일성
시간에 따른 이온빔 intensity의 변화

시료표면의 roughness
시료 결정의 방향 및 결함
성분마다 다른 sputtering yield
Atomic mixing
시료 원자들의 확산이나 분리, 결합

참고 자료

없음