주자전자현미경(SEM)

소개글

여러분께 많은 도움이 되었으면 합니다...
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목차

1. 주사전자현미경(SEM)이란?
2. SEM의 개발역사
3. SEM의 원리
4. SEM의 구성
5. SEM의 배율 및 분해능
6. SEM의 단점
7. SEM의 시편제작
8. SEM을 이용한 시편 표면 관찰 예
♠ 참고문헌

본문내용

1. 주사전자현미경(SEM) 이란?
주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope, SEM)은 투과전자현미경과는 다소 다르다. 주사전자현미경은 전자가 표본을 통과하는 것이 아니라 초점이 잘 맞추어진 전자선 electron beam을 표본의 표면에 주사한다 주사된 전자선이 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자는 검파기 detector에 의해 수집된다. 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관 cathod ray tube에 상을 형성하게 한다. 주사전자현미경의 특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰할 수 있다는 것이다. 전자beam을 시료 위에 주사시켜서 시료로부터 튀어나온 2차 전자를 모아서 검출한 후 여러 가지 복잡한 기계장치를 거친 후 CRT에 영상화시키는 전자 현미경이다. 검출기는 scintillater라고도 하는데 scintillater로 검출된 2차 전자는 광전 중배관으로 운반되어 여기서 신호가 증폭 된후 다시 video amplifier에서 영상신호 증폭을 거친 후 CRT에서 관찰하게 된다. 따라서 TEM은 얇은 시편(60nm정도)을 beam이 투과하여 관찰하므로 2차적인 또는 단면적인 구조를 나타내지만 SEM은 시료 위를 주사된 상을 관찰하므로 3차원적인 입체 상을 관찰할 수 있다.

참고 자료

없음