LED Procsee

소개글

LED 제작 과정을 사진과 함께 이해하기 쉽게 설명함

목차

1. LED PROCESS
2. EPI Process
3. LED Fab Process

본문내용

Liquid Phase Epitaxy란
저 융점의 금속을 고온상태의 액체에서 기판 단결정과 접촉한 상태로 냉각시킴으로써 포화도에 따라 반도체가 기판상에 석출되어지는 EPI 성장 방식이다.
LPE의 장점·단점
- 장점 ① 장치가 간단하다.
② EPI Growth rate이 크다.
③ Crystal quality가 좋다.
- 단점 ① 0.1um 이하의 매우 얇은 층의 성장이 어렵다.
② 조성비율 (stoichiometry)의 조절이 어렵다.
③ 대량 생산에 따른 편차가 크다.

<중 략>

Random shape surface
Cone shape surface
Final Etching (Cone Shape)

Before Final Etching
After Final Etching

Inspection & Store

Visual Inspection
Equipment: Zoom scope

Characteristic Analysis
Equipment: Optical & electrical
analyzer

Store
Equipment: N2 box

Sorter E/T & V/I

High speed Infrared LED chips

Infrared LED chips

AlGaInP Ultra Bright LED chips

Visible LED chips

Technical Development and Application

참고 자료

없음