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SIMS 원리

*철
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최초 등록일
2013.06.04
최종 저작일
2011.10
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목차

1. Introduction

2. 원리 / 구성

3. 분석
1) Mass Spectra
2) Depth Profiling

본문내용

A typical column consists of a mass filter, apertures, lenses and deflection plates.

Their function is to filter, focus, shape, position the primary beam.

<중 략>

Total secondary ion signal : 3.681×106(ions)
Average secondary ion signal : 2.692×e4/s
Average implant concentration : 1×e15cm-2/0.74um=1.35×e19atom/cc
Silicon ion counts : 2.2×e8/s

참고 자료

없음

태그

#SIMS#secondary electron#이차전자#ion mass
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