Negative Photoresist

*여*

최초 등록일: 2013.12.08
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*실험 원리
고성능 액체 크로마토그래피
- 높은 감도를 갖는다.
- 쉽고 정확하게 분석할 수 있다.
- 비 휘발성 성분이나 열 적으로 불안정 물질을 빠르게 분석할 수 있다.

<중 략>

2. Photoresist
- 사진 식각(Photo etching)에 사용되는 감광성 고분자
-빛 에너지에 의해 분해 또는 가교 등이 일어나 그 용해 특성이 변화하는 물질

<중 략>

4. Negative photoresist
노광, 현상 후 열 변형이 일어나지 않음
- Electro-forming 후 제거가 쉽지 않음
- 다양한 PR코팅 높이
- 노광 에너지 다량 필요, 노광 시간 길어져 작업효율 저하

참고 자료

http://www.photoresists.eu/photoresist_1522.html
http://mse.gist.ac.kr/%7Eppl/2004ppl/lecture/2005fall/lecture7.pdf
http://blog.naver.com/jiwoo_90?Redirect=Log&logNo=90097328357
http://www.clean.cise.columbia.edu/process/spintheory.pdf
http://www.cheric.org/ippage/p/ipdata/2005/03/file/p200503-101.pdf

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