주사전자현미경

*도*

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최초 등록일: 2014.03.23
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투과형과 같이 시료전체에 전자선를 쏘이는게 아니고 주사형에서는 아주 작은 전자선으로 시료를 주사(scan)하고, 전자선을 쏜 좌표의 정보에서 상을 구성하여 표시합니다. 관찰시료는 높은 진공상태(10-3승이상)에서 그 표면의 전계 및 자계에서 섞인 전자선(집점직격 1~100nm정도)으로 주사합니다. 주사는 직선적이지만 주사축을 순차적으로 틀어 가면서 시료표면전체의 정보를 얻습니다.

2] 선원
광학현미경의 광원에 해당하는 SEM의 전자선원(전자총)에는 몇 개의 방식이 있습니다. 이전에는 텅스텐 필라멘트의 열전자총을 탑재한 제품이 많았지만, 현재는 전자방사형(Field emission, FE)의 제품이 보급되고 있습니다. 이것은 음극(냉음극)에 고전압을 인가, 바로 밑의 제 1 음극에 의한 전자선을 가속, 계속 제 2 음극이하에서 전자선속을 제어하는 방법입니다. FE는 열전자총과 비교하여 해상도가 높고, 고효율의 관찰이 가능하고, 필라멘트(probe)의 수명이 길다는 장점이 있습니다. 한편, 저배율관찰에 있어서는 대전류가 얻어지는 열전자총의 재질이 FE를 상회하는 제품도 있습니다.

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없음

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