7세대 노광기(Stepper) 설계 [정밀기계공학 레포트_논문형식]

소개글

정밀기계공학 레포트로, 7세대 노광기(Stepper) 설계입니다.
만들때 하도 고생을 해서 남에게 공개하지 않으려 했으나, 졸업해서 올립니다.
당시 성적 A+을 취득하였습니다.

목차

1. 서 론
2. 기술 발전 추이 및 동향
3. 핵심 노광기술
4. 설 계
5. 결 론

본문내용

1. 서 론
노광기는 LCD 패널과 반도체를 생산하는데 필수적인 공정 장비로, 빛에 노출시켜 회로나 패턴을 구성하는 등 반도체 생산을 위해 밑그림을 그리는 작업을 수행한다. 즉 카메라처럼 마스크에 빛을 쪼아 유리 기판에 회로를 그리는 회로공정의 핵심장비로 최근에는 액정표시장치(LCD) 생산을 위한 노광기 개발에 주력하고 있다.
현재 우리나라는 일본 니콘과 캐논으로부터 전량을 수입하고 있는 상황이다. 노광기는 한 대에 100억 원을 호가하는 고가의 장비인데다가 일본에 대한 의존도가 100%인 만큼 핵심장비, 핵심기술의 이해 및 개발을 통한 국산화가 절실하게 필요한 상황이다.

<중 략>

이번 프로젝트에서는 이러한 노광기의 제작에 있어 중요한 기술 (EUVL, nano patterning, 광학계 설계 및 제작)에 대하여 조사하고, 노광기의 동작원리를 포함하여 7세대 LCD(1,870×2,200mm) 제작에 사용할 수 있는 노광기의 대략적인 구상도를 설계하고자 하였다.
프로젝트에서 다루고자 하는 노광기의 구조는 공정부, 반송부, 제어부, 환경부의 총 4가지 부분으로 크게 나눌 수 있다.
본 프로젝트에서는 노광기의 주요공정 성능(결상능력, 정열능력)을 제공하는 장치인 공정부를 중점으로 설계를 수행할 것이며, 여기에는 조명계와 각종 계측기, Stage구동 및 정밀 보정장치들이 포함된다.

참고 자료

정성종, 2013, "정밀기계공학"
황호정, 1999, "반도체 공정기술"
nongae.gsnu.ac.kr/~hskim/electronic_cc/chap6.pdf, "노광기술(lithography)"
http://www.kps.or.kr/storage/webzine_uploadfiles/1507_article.pdf, "포토리소그래피의 기본원리"
http://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=102&oid=089&aid=0000163460, 대전일보, "차세대 LCD 노광기 국산화 도전장"