[물리] PZT

목차

1. 서 론
2. P Z T
2. SBT
3. BLT
0. 배 경

본문내용

강유전체인 PZT는 이 물질이 가지고 있는 우수한 특성(예를 들자면 자발분극, 우수한 압전 특성 및 초전 특성, 높은 유전 상수 등) 때문에 그간 많은 연구의 대상이 되어왔다. 특히 최근에는 메모리 소자에 사용하고자 하는 연구가 많이 이루어지고 있는데 이러한 응용은 차후 컴퓨터산업에 있어서 중요한 부분을 차지하리라고 생각된다. 그러나 PZT 박막은 전기적인 특성 면에 있어서 fatigue, imprint, retention loss 현상 등의 심각한 문제점이 발생하는 것으로 알려져 있다. 이러한 특성열화는 PZT가 메모리 소자에 응용되어질 수 있는 가능성을 방해하는 요소이다. 최근에 이러한 문제점들에 연구가 많이 이루어져 이러한 특성열화현상이 PZT의 domain 구조와 전압을 인가할 경우에 발생하는 domain의 switching 거동과 밀접한 연관이 있다는 보고가 나오고 있다. 그러나 이러한 연구는 대부분 거시적인 측정법을 이용하여 이루어져서 domain 구조에 대한 미시적인 정보는 부족한 현실이고 또한 두께가 2000Å이상의 막에 대해 이루어져왔다.

참고 자료

없음