플라즈마 개질

목차

1. 플라즈마란
2. 표면처리
3. 플라즈마를 이용한 표면처리
4. 반도체에서의 표면개질
5. 친수성과 소수성
6. 플라즈마 개질 원리
7. 플라즈마 표면처리 관련 데이터
8. 결론

본문내용

플라즈마란?
고체,액체,기체 다음의 제 4의 물질상태.
전자와 정공이 높은 에너지에 의해 나뉘어져 결합하지 못하고 높은 에너지를 상태로 부유하는 일종의 이온구름.

<중 략>

표면개질(Surface modification)이란?

표면개질이란 재료의 표면을 물리적, 화학적인 방법으로 재료표면 분자구조를 변화시켜 특정 목적에 맞게 가공하는 것

반도체에서의 표면개질은

서로 다른 계면과 접합을 시키기 위해 표면에너지를 활성화(극성화) 시키는데 이때 활성화 기준을 친수성과 소수성으로 나뉘어서 판단 할 수 있음

친수성(Hydrophilic)이란?

표면에너지가 매우 크게 활성화(극성화) 되어 있어서 다른 분자(물분자 포함)와 잘 결합하는 특성을 가지고 있음(도금 및 세정에 활용)
소수성(Hydrophobic)이란?

표면에너지가 낮은 비활성화(무극성)되어 다른 분자와 결합을 잘 형성하지 않는 특성을 가지고 있음(오염 방지에 활용)

참고 자료

없음